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產(chǎn)品詳細(xì)頁(yè)
Auto 色新型相調(diào)制橢圓偏振光譜儀

Auto 色新型相調(diào)制橢圓偏振光譜儀

產(chǎn)品介紹

 

概要

Auto 色是一種新型的按鍵式全自動(dòng)薄膜測(cè)量分析工具,簡(jiǎn)單的幾個(gè)按鍵操作,即可完成全自動(dòng)測(cè)量和分析。

幾秒鐘可完成樣品分析,并提供完整的樣品堆疊特性報(bào)告-包括薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)、表面粗糙度和薄膜的不均勻性。

Auto 色 是一種高性能系統(tǒng),它包括XYZ自動(dòng)樣品臺(tái)、測(cè)量點(diǎn)實(shí)時(shí)成像和光斑尺寸自動(dòng)選擇功能,其各種各樣的附件可滿(mǎn)足用戶(hù)對(duì)多種應(yīng)用的需求。

Auto 色借助完整的操作向?qū)?,自?dòng)檢測(cè)并診斷問(wèn)題、同時(shí)提供完整的操作指南,實(shí)現(xiàn)對(duì)故障進(jìn)行輕松處理。

便捷的操作性能和大量自動(dòng)化特性,使得 Auto 色 成為一種可用于常規(guī)薄膜測(cè)量和質(zhì)量控制的設(shè)備。

特征

  • 薄膜分析變得輕松簡(jiǎn)單
  • 高性能系統(tǒng)
  • *的光斑可視系統(tǒng)(技術(shù))
  • 多種附件選擇
  • 智能診斷

Auto 色的可視化系統(tǒng)

Auto 色 集成了*的MyAutoView光斑可視系統(tǒng)(技術(shù)),該系統(tǒng)配備在標(biāo)準(zhǔn)橢圓偏振光譜儀中。

MyAutoView允許操作者全程觀測(cè)樣品光斑,以確保各種類(lèi)型的樣品都能在*正確的位置,以合適的光斑尺寸進(jìn)行測(cè)量。

Auto 色 所提供的圖像有大約1毫米的視場(chǎng)和10微米的分辨率,這對(duì)于大多數(shù)測(cè)量來(lái)說(shuō)是非常必要的。

 

 

樣品類(lèi)型

MyAutoView光斑可視系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)

舉例

圖形化樣品

對(duì)圖形區(qū)域上的測(cè)量光斑直接觀測(cè).

玷污樣品

直接觀測(cè)樣品上的測(cè)量光斑,以便選擇合適測(cè)量位置.

透明樣品

-只有前反射時(shí),直接選擇
-當(dāng)不能忽略背面反射時(shí),計(jì)算背面反射度

粗燥樣品或不均勻表面的樣品 (有條紋、瑕疵)

直接觀測(cè)樣品的測(cè)量光斑,以便選擇合適測(cè)量點(diǎn).

微結(jié)構(gòu)樣品

直接觀測(cè)樣品上能夠表示0.8mm的細(xì)線特征的測(cè)量光斑.

圓柱狀或球形的樣品

直接觀測(cè)在這種區(qū)域上用于光斑定位的平面。右圖顯示,光斑大小沒(méi)有被優(yōu)化到適合橢圓偏振的測(cè)量.

放在液體池、控溫臺(tái)等附件里的樣品

對(duì)于放在液體池里的樣品,測(cè)量定位變得非常容易(圖示樣品).

技術(shù)參數(shù):

光譜范圍:440-858nm 

光斑尺寸: 500 µm x 750 µm; 500 µm x 500 µm; 250 µm x 500 µm; 250 µm x 250 µm; 70 µm x 250 µm; 100 µm x 100 µm; 50 µm x 60 µm; 25 µm x 60 µm 

測(cè)試時(shí)間:通常為5秒,可小于1秒
 
準(zhǔn)確度:NIST 1000 Å SiO2 /Si: d ± 4 Å - n(632.8 nm) ± 0.002, Fu色d silica: n ± 0.004 

觀測(cè)樣品: CCD-視場(chǎng)范圍1.33*1mm,分辨率1µm 

重復(fù)性:± 0.2 Å  (測(cè)試條件 NIST 150 Å SiO2 /Si )

樣品臺(tái)尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自動(dòng)調(diào)節(jié);真空檢測(cè);Z軸高度50mm 

探測(cè)器:CCD-分辨率:2nm

測(cè)角儀:固定在70度,可預(yù)設(shè)為66度或者61.5度

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